金屬表面處理采用磷化設(shè)備，磷化設(shè)備中的磷化液一定溫度下，碳、氮、硫等元索被金屬表面吸附、吸收，形成具有一定深度的表面污染崖。與一般污染層不同，這種污染表面仍可保持金屬光澤。
把污染表面制備為純凈表面、清潔表面的過程稱為表面凈化。
為了得到純凈的j金屬表面，需要去掉表面吸附層與表面億臺物井防止二次污染，因此必須在高真空條件下進行。目前應(yīng)用*多的是離子濺射法，把金屬置于壓力的高真空室內(nèi)、以氳離子進行轟擊濺射，為防止二次污染，減少因轟擊造成的表面損傷，離子加速高壓取200-500V。為進一步減少表面損傷，同時避免在真空退火中內(nèi)部雜質(zhì)向表而聚集，可采用離子磺射與真空退火交替進行的方法。離子濺射表面凈化方法，不僅可以得到純凈表面，而且可以對金屬表面進行蓮屜剝離+對一定深度的表面層進行分屢研究。
離子濺射表面凈化可直接用于離子鍍、離于滲氟等表面強化技術(shù)中。
對清潔表面進行真空退火也可得到純凈表面。對f鼻有易丹晶面的單晶體，可在高真空中用劈分法得到純凈表面，但劈丹法不適用于金屬。
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